Objectifs

Cette manifestation francophone, qui se déroulera conjointement au 7e Salon des Utilisateurs des Techniques du Vide, sera l'occasion de mettre en contact recherche universitaire, équipementiers et utilisateurs industriels et de faire le point sur ce domaine en évolution rapide.

Les dépôts de couches minces par voie sèche, pour leurs performances mais aussi pour le respect de contraintes environnementales en évolution, ont de plus en plus tendance à supplanter les technologies par voie humide génératrices de rejets et de déchets à coûts de traitement prohibitifs.

Les technologies de dépôt sous vide par pulvérisation cathodique magnétron et par évaporation par arc anodique et cathodique ont une place importante sur le marché. Si les technologies de dépôt par arc semblent maintenant bien établies, les technologies magnétron sont en évolution rapide avec des procédés émergents tels que l'IPVD (Ionized Physical Vapor Deposition) et les magnétrons pulsés à très forte puissance qui sont apparus récemment.

Dans la continuité des manifestations tenues à Mons en 1999, à Orsay en 2001 et à Gand en 2003, ces 4e Journées des 7 et 8 juin 2006 consacrées aux Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arc pour le Dépôt de Couches Minces ont pour objet de faire le point sur les évolutions marquantes dans le domaine. Les organisateurs ont volontairement retardé cette manifestation pour la faire coïncider avec le Salon des Utilisateurs des Techniques du Vide qui se tiendra dans le même lieu.

Les nouvelles technologies magnétron constitueront un thème fort avec, notamment la venue du Professeur suédois Ulf Helmersson. Des conférences sur des thèmes émergents tels que les dépôts à la pression atmosphérique et les procédés pour les nouveaux matériaux sont également programmés.

Des cours, s'adressant aussi bien aux chercheurs qu'aux ingénieurs, permettront de rappeler les fondements de la technologie plasma et la caractérisation des matériaux en couches minces. Des posters présenteront les meilleures réalisations actuelles.

Le français sera la langue communément véhiculée.


organisées par la Société Française du Vide - 19, rue du Renard - 75004 Paris (France)
Tél : 33 (0)1 53 01 90 30 - Fax : 33 (0) 1 42 78 63 20 - Web : http://www.vide.org- E-mail : sfv@vide.org

En partenariat avec Belvac - Société Belge de Vacuologie