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9h
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Accueil
des participants |
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Thème
: Arc électrique sous vide |
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9h30
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L'arc
électrique sous vide : aspects fondamentaux et exemples
d'utilisations en métallurgie
Pierre Chapelle - LSG2M, Ecoles des Mines, Nancy
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10h50
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Pause
café
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Thème
: Modélisation et simulation des réacteurs de
dépôt |
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11h20
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Apport de la modélisation
à la compréhension et la conception des réacteurs
Tibériu Minéa - LPGP, Université Paris
Sud, Orsay
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12h40
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Déjeuner
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Thème
: Diagnostic des plasmas de réacteurs magnétron
PVD et IPVD |
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14h30
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La
spectroscopie optique des plasmas à cathodes magnétron
de titane dans l'argon et en milieux réactifs Ar-N2
et Ar-O2
André Ricard - CPAT, Université Paul Sabatier,
Toulouse
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15h10
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La
spectroscopie optique des plasmas de réacteurs magnétron
PVD et IPVD : mesures d'absorption et de fluorescence induites
par diode laser
Michel Touzeau - LTM, Université Joseph Fourrier,
Grenoble
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15h50
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Pause
café
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Thème
: Caractérisation de matériaux en couches nanométriques |
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16h20
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Techniques
de caractérisation de la structure et des interfaces
Marie-Paule Besland - LPCM, IMN, Nantes
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17h00
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Techniques
de caractérisation des propriétés physico-chimiques
des films
Marie-Christine Hugon - LPGP, Université Paris Sud,
Orsay
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17h40
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Fin
des cours. Cocktail du Salon du Vide.
Ouverture de la conférence.
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18h00
à
20h00
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Session Posters
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20h30
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Dîner
du Colloque |
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Jeudi
8 juin 2006 - Conférences
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9h
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Introduction
aux conférences par le Président du Comité
Scientifique |
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Thème
: décharges électriques hautement ionisées
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Highly
Ionized Physical Vapor Deposition Process - Procédés
de dépôt par voie physique hautement ionisée
Ulf Helmerssson - Dept of physics, Linköping University,
(Suède)
Mihaï Ganciu - LPGP, Université Paris Sud, Orsay |
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Thème
: couplage de procédés |
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10h20
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DLC
: un exemple de procédé hybride PVD-PACVD
Christophe Héau - HEF, Andrézieux-Bouthéon
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11h00
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Pause
café
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Thème
: dépôts de couches sous magnétron pulsé
haute puissance |
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11h30
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Dépôts
de films minces d'oxydes de titane
Stéphanos Konstantinidis - Matéria Nova, Université
de Mons Hainaut, Mons (Belgique)
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12h10
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Diagnostics
spatio-temporel du transport des particules pulvérisées
Caroline Boisse-Laporte - LPGP, Université Paris Sud,
Orsay
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12h50
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Déjeuner
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Thème
: procédés pour les nouveaux matériaux |
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14h30
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Matériaux
nanostructurés et procédés associés
... vers de nouvelles applications
Frédéric Schuster - CEA, Fontenay aux Roses
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15h10
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Pause
café
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Thème
: procédé émergent |
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15h40
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Décharges
à la pression atmosphérique pour le dépôt
de couches minces
François Reniers - Université Libre de Bruxelles,
Bruxelles (Belgique)
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16h20
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Clôture
des Journées |
