MAGNETRON 2008 - 5e Journées sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arc pour le Dépôt de Couches Minces
4 et 5 juin 2008 - Lyon (F)

 

PROGRAMME DES FORMATION (Mercredi 4 juin 2008)

L’organisation fait une place à la formation adressée à la fois aux chercheurs des laboratoires, en particulier aux plus jeunes, et aux ingénieurs en milieu industriel. Les cours, qui auront lieu lors de la première journée, porteront spécialement sur les techniques de diagnostics des plasmas, sur l’apport de la modélisation à la compréhension et à la conception de réacteurs et également sur la caractérisation des couches minces.
Les cours sont d'une durée de 40 minutes + 10 minutes de questions.

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9h
Accueil des stagiaires

9h20

Les différentes technologies magnétron et leurs applications fonctionnelles.
Alain Billard (UTBM-LERMPS, Montbéliard)

10h10

Evaporation par arc cathodique sous vide ; principe, caractéristiques et applications. Frédéric Sanchette (CEA, Grenoble)

11h
pause (30')
11h30

Modélisation et simulation des réacteurs de dépôts.
Tibériu Minéa (Université Paris-Sud XI – LPGP, Orsay)

12h20
déjeuner (1h40)

14h

Caractérisation de la phase vapeur.
Michel Touzeau (CEA-LETI – LTM, Grenoble)
14h50

Caractérisation de la phase solide.
Marie-Christine Hugon (Université Paris-Sud XI – LPGP, Orsay)

15h40
pause
16h10
Présentation orale des thésards (1h)
17h10
Session posters (1h20)

18h30
Fin Session posters

A partir de 18h15
Cocktail avec les exposants du salon VIDE 2008.


20h15

Rendez-vous au restaurant pour le dîner de gala avec les exposants du salon VIDE.
Restaurant à proximité de la gare SNCF de Lyon-Perrache.

 
 
Société Française du Vide - 19, rue du Renard - 75004 Paris, France
Tél. : +33 (0)1 53 01 90 30 - Fax : +33 (0)1 42 78 63 20 - sfv@vide.org