Les analyses physico-chimiques du gaz et de la surface sont les compléments logiques des procédés d'élaboration de couches minces et des traitements de surface.
Nous proposons une gamme étendue de cours dans cette section : analyse de surfaces par XPS, Auger, spectroscopie d'électrons et d'ions SIMS - Applications industrielles de l'ellipsométrie, etc...