Le vide joue un rôle particulier dans de nombreux procédés d'élaboration de couches minces. Nous proposons une gamme complète de cours concernant la plupart des procédés d'élaboration des couches minces, le plus souvent assistés par plasma, ainsi que les procédés de gravure. Ces procédés s'appliquent aussi bien à des échantillons métalliques, semi-conducteurs ou polymères.
