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Ouvrages

PLASMAS REACTIFS

30,00

Les plasmas sont des milieux gazeux ionisés d’une grande diversité. On les trouve dans l’univers (étoiles), dans l’ionosphère et la magnétosphère. Ils sont fabriqués sur Terre pour de nombreuses applications : machines à fusion contrôlée, arcs pour la fusion de minerais et pour la soudure, décharges à lasers à gaz, lampes à arcs, décharges pour la synthèse de nouveaux produits (enrichissement d’hydrocarbures), décharges pour les traitements de surfaces (dépôts de nouveaux matériaux).

Dans cet ouvrage, l’accent est mis sur la production d’espèces excitées du plasma. L’ouvrage donne des exemples d’applications aux traitements de surface qui montrent les corrélations trouvées entre la production des états excités et ionisés, atomes et radicaux du plasma et la transformation chimique de la surface.
L’ouvrage s’adresse aux étudiants en maîtrise et en 3ème année d’Ecoles d’Ingénieurs des domaines du Génie chimique, de la Thermique, de la Combustion, de la Physique du solide et de la Science des matériaux, de la Métallurgie et de la Microélectronique.
Il s’adresse aussi aux scientifiques qui ne connaissent pas la Physique des Plasmas mais utilisent des réacteurs à plasmas pour les traitements de surfaces et dont la compétence se situe dans les secteurs de la Chimie et de la Physique du Solide.
Il peut intéresser également les physiciens fondamentalistes, spécialistes en physique atomique et moléculaire, qui veulent étudier les domaines d’applications cités.

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Description

Edité : en Français en 1995
Publié par : la SFV – 156 pages
ISSN : 1266-0167
André Ricard
(Directeur de recherches au CNRS)

Parution officielle le 1er mars 2017

Sommaire:

Caractéristiques des plasmas-décharges
Grandeurs caractéristiques d’un plasma
Décharges électriques
Milieux ionisés actifs
Excitation par collisions électroniques
Destruction des états excités
Bilan en régime pseudo-stationnaire
Etats excités de l’argon
Etats excités de l’azote
Etats excités de l’oxygène
Etats excités de l’hydrogène
Milieux ionisés réactifs
Transferts ionisants
Transferts non ionisants
Espces actives dans les mélanges de gaz moléculaires
Techniques de mesures dans les plasmas
Spectroscopie optique
Spectrosccopie laser
Actinométrie
Chimiluminescence
Spectrométrie de masseExemples d’applications aux traitements de surfaces
Plasmas pour le traitement des polymères
Plasmas pour la gravure ou le dépôt des semi-conducteurs
Plasmas poiur le dépôt de nitrures de titane
Plasmas pour le dépôt de diamants

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